지적 재산권

[제8회 정밀측정워크숍] 고분해능 초분광 기법을 이용한 실시간 다채널 공정 검사 기술

Approaching the quantum-limited precision in frequency-comb-based spctral interferometric ranging

[제32회 한국반도체학술대회] 첨단 반도체, 디스플레이 공정을 위한 초분광 간섭계 기반 고속 두께 및 형상 측정 기술

Thin Film Thickness Analysis Using a Deep Learning Algorithm with a Consideration of Reflectance Flu

[2024 한국정밀공학회 추계학술대회] 분광 반사계를 이용한 다층 박막 두께 측정의 불확도 평가

[2024 한국정밀공학회 추계학술대회] 초분광 카메라 기반 고속 두께 및 형상 측정 기술

[2024 한국정밀공학회 추계학술대회] 반사율 떨림을 고려한 박막 두께 분석 딥러닝 알고리즘의 성능 개선

[2024 CLEO-PR (Cleo Pacific Rim)] An optical measuring method for three-dimensional surface profile

[제1회 광계측 응용기술 세미나] 첨단 공정을 위한 초분광 기술 기반 고속 삼차원 형상 측정

[제7회 정밀측정워크숍] 초분광 기반 두께 및 형상 측정 기술